第71章光学镜组

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    第71章光学镜组(第1/2页)
    星辰光刻光学实验室，无尘车间的灯光白得刺眼。
    陈院士戴着白色防尘帽，手里的数据报告翻了一页，眉头拧成了疙瘩。
    “三号镜的粗糙度，又卡在0.32纳米了。“他把报告拍在桌上，“就差0.02，死活下不去。“
    周围几个材料所的研究员，你看我我看你，谁也没敢接话。
    “陈院士，“一个年轻研究员小声说，“要不……先按0.32验收？0.3纳米的目标，差这0.02，国际上也不是完全不能……“
    “不行！“陈院士直接打断他，“0.5纳米的芯片制程，光学镜组的粗糙度必须压到0.3纳米以下。差0.02，良率就得掉一个档次。这是国产EUV的脊梁骨，宁可慢，不能糊弄！“
    实验室里，气氛有些凝重。
    苏宇推门进来时，看到的正是这一幕。
    “卡在镀膜工艺上了？“他问。
    陈院士抬头，摘下眼镜揉了揉眼：“不是镀膜，是抛光。极紫外光用的反射镜，跟普通光学镜不一样——要在基底上镀一百多层钼硅薄膜，每一层的厚度都要精确到原子级。镀膜工艺咱们三个月前就攻下来了，难的是最后的抛光。“
    “镜面粗糙度要做到0.3纳米以下，每往下压一纳米，难度都是指数级往上翻。材料所的老教授们，为这一道工序熬了不知多少个通宵，好不容易把核心工艺啃下来了——“
    “但是？“
    “但是验收设备。“陈院士苦笑，“高精度的干涉仪，全球只有漂亮国艾戈系统公司能产。咱们从下单到验收，全流程都得过他们的手。“
    他顿了顿，声音沉了下来：“苏总，就在刚才，艾戈那边发来通知——受漂亮国商务部管制令影响，三台纳米级干涉仪的出口许可，被无限期冻结了。“
    实验室里，一片死寂。
    “检测设备被卡了？“
    “没有干涉仪，镜面粗糙度拿什么验？这不是等于造了个东西，没尺子量吗？“
    “艾戈的干涉仪……这是掐准了节点来的啊。“
    几个工程师低声议论，脸色都不太好看。
    苏宇的眼底，掠过一丝冷光。
    “好一个芯片联盟。“他轻声说，“前脚在大会被我掀了桌子，后脚就把刀架到检测设备上了。“
    “苏总，“陈院士叹了口气，“没有干涉仪，镜组的数据就立不住。就算我们自己觉得没问题，国际上也不认这个数。芯片联盟这步棋，是要把咱们的光学系统，堵死在实验室里。“
    “更何况——“他压低声音，“光刻机的反射镜，加工到0.3纳米是第一步。后面还要做表面原子级修复、多层膜应力控制。每一步，都离不开高精度的检测手段。艾戈一断供，整个光学系统的后续工序，全得趴窝。“
    苏宇没有接话。
    他闭上眼睛，意识沉入脑海。
    “系统。“
    “叮！宿主权限：2.5级。当前可检索图纸库范围：高级未来科技图纸库、量子芯片全套技术图纸、EUV光刻机全套技术图纸。“
    “检索——纳米级镜面检测方案。“
    图纸库里，海量数据如瀑布般滚落。
    光刻机的检测技术，从来不止干涉仪一条路。
    量子测量、散射光检测、原子力显微……无数条技术路径，在苏宇的意识里铺开。
    最后，他停在了一页图纸前。
    “叮！检索完成——【量子干涉测量方案】。基于量子纠缠态的纳米级无接触测量，精度可达0.05纳米，为传统干涉仪精度的六倍。判定：当前图纸库可完整实现，需量子芯片级精密控制单元配合。“
    苏宇猛地睁开了眼。
    “陈院士，“他说，“干涉仪的事，我来解决。“
    “苏总？“
    “漂亮国不卖尺子，咱们就造一把——比他们更好的尺子。“
    他转身往外走，边走边掏出手机：“我马上联系楚冰。她那边有量子芯片的产线，正好能造这方案里最核心的控制单元。“
    “量子测量？！“陈院士一愣，追上来两步，“苏总，你是说……用量子纠缠来做镜面检测？“
    “对。“苏宇停下脚步，回头看他，“镜面粗糙度0.3纳米，传统干涉仪的光学分辨率已经摸到天花板。可量子纠缠态没有这个限制——精度上，我们直接比艾戈高一个量级。“
    “这……“陈院士眼睛亮了，“这理论，我们材料所里也有老教授讨论过！只是谁也没想到能落地！苏总，你手里真有这套方案？“
    “图纸在我脑子里。“苏宇笑了笑，“今晚，我出图。明天一早，楚冰带人过来对接。“
    当晚，星辰光刻会议室，灯火通明。
    苏宇把系统图纸里【量子干涉测量方案】的关键参数，一条条誊到

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第71章 光学镜组

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